Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ VÀ ỨNG DỤNG Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng Địa chỉ bạn đã tải: Nơi bạn có thể thảo luận: Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: Dự án dịch học liệu mở: Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com PHƯƠNG PHÁP STYLUS Thực hiện: Trần Minh Đạo Phạm Kim Ngọc PHƯƠNG PHÁP STYLUS I. Cấu tạo II. Nguyên lý hoạt động III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng: a) Loại màng b) Stylus tip và force tip c) Parameters d) Ưu và nhược điểm CẤU TẠO PHƯƠNG PHÁP STYLUS NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG PHƯƠNG PHÁP STYLUS LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER PHƯƠNG PHÁP STYLUS S S S S P P A PHƯƠNG PHÁP STYLUS PHƯƠNG PHÁP STYLUS PHƯƠNG PHÁP STYLUS ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG PHƯƠNG PHÁP STYLUSScan length 30µm to 30 mm Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu 100µm - 500µm thực tế??? PHƯƠNG PHÁP STYLUSScan speed Khoảng cách quét - lực quét Duration: 3 - 200sec Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec) Data Points/Scan = Scan length(µm) / Horizontal Resolution (µm) Low speed ( + low force + noise) ? High speed ?? (5 - 10µm/sec) ideal? PHƯƠNG PHÁP STYLUSStylus force 1mg – 15mg (< 1mg) Loại màng, pp chế tạo? Low force  ? High force ? Stylus tip? PHƯƠNG PHÁP STYLUSStylus tip Diamond tip R= 0.2 25µm (12.5µm) Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) + vận tốc quét PHƯƠNG PHÁP STYLUSParameters Maximum sample thickness 31.75 mm Vertical range 262 micron. X-Y stage translation 20 mm x 80 mm vertical data resolution 1 A at 65kA range Z-height capability 1 mm ?? Color video camera with manual zoom optics 70-280X PHƯƠNG PHÁP STYLUSAnalytical Functions - Roughness Maxdev (Maximum Deviation) MaxRa (Maximum Ra) Ra (Average Roughness) Rp(Maximum Peak) Rq (RMS) Rt (Maximum peak to valley) Rv (Maximum valley) Rz_din (Ten points height average) Skew (skewness) PHƯƠNG PHÁP STYLUSAnalytical Functions - Waviness Wa (Arithmetic average of waviness) Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness) Wp (maximum peak of waviness) Wq (Root – Mean – Square of Waviness) Wt (Maximum peak to valley of waviness) Wv (Maximum vallley of waviness) PHƯƠNG PHÁP STYLUSAnalytical Functions - Height ASH (Delta Average step height) Avg Ht (Average Height) HSC (High spot count) Pc (peak count) Peak (Maximum peak) P_V (Maximum peak to valley) TIR (Total Indicated reading) Valley (maximum valley) PHƯƠNG PHÁP STYLUSAnalytical Functions - Geometry Area (Area under the curve) Perim (Perimeter) Radius Slop Sm (Mean spacing between peaks) Tp (Bearing ratio) Volume PHƯƠNG PHÁP STYLUS ưu và nhược điểm